آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی پرتو الکترونی

اتاق تمیز ممز ( Mems Clean room )

آزمون لایه نشانی تبخیر فیزیکی پرتو الکترونی

لایه نشانی ضخامت نانومتری با لیست تارگت‌های تعریف شده: Ni, Pt, Cr, Ag, Au, Cu, Ti

دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی

به منظور لایه نشانی روی نمونه‌های مختلف است که این سامانه دارای محفظه استوانه‌ای با جنس استیل 304 با درب بازشونده از جلو می‌باشد که دسترسی به تمامی قسمت‌های داخلی محفظه را آسان می‌سازد و مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing) و پشتی (backing) به همراه شیر خلا الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی‌های این سامانه است که توانایی کنترل دستگاه از طریق نمایشگر HMI و PLC فراهم شده است.

امکان لایه نشانی با روش تبخیر فیزیکی با فشار نهایی X10E – 6 torr با داشتن فشار سنج‌های کاتد سرد و پیرانی مخصوص را فراهم می‌کند. همچنین امکان لایه نشانی چند نمونه همزمان نیز امکان پذیر است.

استاندارد .Int. Pro 3018

استاندارد آزمون لایه نشانی تبخیر حرارتی ( E-Beam Deposition Test Standard )

نمونه اتاق تمیز ممز

پارامتر (ها)

1

لایه نشانی کروم با ضخامت 10 نانومتر ( Chromium deposition (10nm) )

(ريال)
2

لایه نشانی کروم با ضخامت 20 نانومتر ( Chromium deposition (20nm) )

(ريال)
3

لایه نشانی کروم یا ضخامت 40 نانومتر ( Chromium deposition (40nm) )

(ريال)
4

لایه نشانی با ضخامت 60 نانومتر ( Chromium deposition (60nm) )

(ريال)
5

لایه نشانی با ضخامت 80 نانومتر ( Chromium deposition (80nm) )

(ريال)
6

لایه نشانی کروم با ضخامت 100 نانومتر ( Chromium deposition (100nm) )

(ريال)
7

لایه نشانی کروم با ضخامت بالا 100 نانومتر ( Chromium deposition (+100nm) )

(ريال)

اطلاعات تماس

ایمیل اپراتور: afshinnasirimail@gmail.com

ساعت پاسخگویی به ایمیل: 8 الی 13

ثبت درخواست