سامانه جامع مدیریت اطلاعات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

لایه نشانی ضخامت نانومتری با لیست تارگت‌های تعریف شده: Ni, Pt, Cr, Ag, Au, Cu, Ti

به منظور لایه نشانی روی نمونه‌های مختلف است که این سامانه دارای محفظه استوانه‌ای با جنس استیل 304 با درب بازشونده از جلو می‌باشد که دسترسی به تمامی قسمت‌های داخلی محفظه را آسان می‌سازد و مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing) و پشتی (backing) به همراه شیر خلا الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی‌های این سامانه است که توانایی کنترل دستگاه از طریق نمایشگر HMI و PLC فراهم شده است.

امکان لایه نشانی با روش تبخیر فیزیکی با فشار نهایی X10E – 6 torr با داشتن فشار سنج‌های کاتد سرد و پیرانی مخصوص را فراهم می‌کند. همچنین امکان لایه نشانی چند نمونه همزمان نیز امکان پذیر است.

استاندارد آزمون لایه نشانی تبخیر حرارتی ( Evaporation Deposition Test Standard )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 10 نانومتر ( Chromium deposition (10nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 20 نانومتر ( Chromium deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 40 نانومتر ( Chromium deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 60 نانومتر ( Chromium deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 80 نانومتر ( Chromium deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 100 نانومتر ( Chromium deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Chromium deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 10 نانومتر ( Aluminum )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 20 نانومتر ( Aluminum Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 40 نانومتر ( Aluminum Deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 60 نانومتر ( Aluminum Deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 80 نانومتر ( Aluminum Deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم با ضخامت 100 نانومتر ( Aluminum Deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی آلومینیوم ضخامت بالای 100 نانومتر ( Aluminum Deposition (+100nm) )