سامانه جامع مدیریت اطلاعات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

لایه نشانی ضخامت نانومتری با لیست تارگت‌های تعریف شده: Ni, Pt, Cr, Ag, Au, Cu, Ti

به منظور لایه نشانی روی نمونه‌های مختلف که این سامانه دارای محفظه استوانه‌ای با جنس استیل 304 با درب بازشونده از جلو می‌باشد که دسترسی به تمامی قسمت‌های داخلی محفظه را آسان می‌سازد و مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing) و پشتی (backing) به همراه شیر خلا الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی‌های این سامانه است.

امکان لایه نشانی با روش کند و پاش با فشار نهایی X10E – 6 torr را فراهم می‌کند و دارای فشار سنج‌های کاتد سرد و پیرانی است که اندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالی انجام می‌شود.

استاندارد لایه نشانی کند و پاش RF ( RF Sputtering Deposition Standard )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 10 نانومتر ( Chromium deposition (10nm) )

نام : لایه نشانی کروم 20 با ضخامت نانومتر ( Chromium deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی با ضخامت 40 نانومتر ( Chromium deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 60 نانومتر ( Chromium deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 80 نانومتر ( Chromium deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی کروم ضخامت 100 نانومتر ( Chromium deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Chromium deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 10 نانومتر ( Gold Deposition (10nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 20 نانومتر ( Gold Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 40 نانومتر ( Gold Deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 80 نانومتر ( Gold Deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 100 نانومتر ( Gold Deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Gold Deposition (+100nm) )