سامانه جامع مدیریت اطلاعات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

لایه نشانی ضخامت نانومتری با لیست تارگت‌های تعریف شده: Ni, Pt, Cr, Ag, Au, Cu, Ti

به منظور لایه نشانی روی نمونه‌های مختلف که این سامانه دارای محفظه استوانه‌ای با جنس استیل 304 با درب بازشونده از جلو می‌باشد که دسترسی به تمامی قسمت‌های داخلی محفظه را آسان می‌سازد و مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing) و پشتی (backing) به همراه شیر خلا الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی‌های این سامانه است.

امکان لایه نشانی با روش کند و پاش با فشار نهایی X10E – 6 torr را فراهم می‌کند و دارای فشار سنج‌های کاتد سرد و پیرانی است که اندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالی انجام می‌شود.

استاندارد لایه نشانی کند و پاش DC ( Sputtering DC Standard )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 20 نانومتر ( Chromium deposition(20nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 40 نانومتر ( Chromium deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 60 نانومتر ( Chromium deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 80 نانومتر ( Chromium deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی کروم با ضخامت 100 نانومتر ( Chromium deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی کروم ضخامت بالا 100 نانومتر ( Chromium deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 10 نانومتر ( Gold deposition (10nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 20 نانومتر ( Gold deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 30 نانومتر ( Gold deposition (30nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 60 نانومتر ( Gold deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 80 نانومتر ( Gold deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی طلا با ضخامت 100 نانومتر ( Gold deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Gold deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت 20 نانومتر ( Silver Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت 40 نانومتر ( Silver Deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت 60 نانومتر ( Silver Deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت 80 نانومتر ( Silver Deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت 100 نانومتر ( Silver Deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی نقره با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Silver Deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت 20 نانومتر ( Copper Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت 40 نانومتر ( Copper Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت 60 نانومتر ( Copper Deposition (60nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت 80 نانومتر ( Copper Deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت 100 نانومتر ( Copper Deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی مس با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Copper Deposition (+100nm) )

نام : لایه نشانی پلاتین با ضخامت 20 نانومتر ( Platinum Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی پلاتین با ضخامت 40 نانومتر ( Platinum Deposition (20nm) )

نام : لایه نشانی پلاتین با ضخامت 60 نانومتر ( Platinum Deposition (40nm) )

نام : لایه نشانی پلاتین با ضخامت 80 نانومتر ( Platinum Deposition (80nm) )

نام : لایه نشانی با ضخامت 100 نانومتر ( Platinum Deposition (100nm) )

نام : لایه نشانی پلاتین با ضخامت بالای 100 نانومتر ( Platinum Deposition (+100nm) )